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API XD Laser激光干涉儀的核心技術特點

API（Automated Precision Inc.）公司推出的XD Laser系列激光干涉儀，是高精度多自由度測量領域的代表性產品。該系統突破了傳統激光干涉儀僅能測量單一維度的局限，具備同時測量多達六個自由度（6DoF）的能力，顯著提升了測量效率與精度。

1. 六自由度同步測量

XD Laser采用的多光束干涉技術，可在一次測量中同步獲取線性位移（X）、水平直線度（Y）、垂直直線度（Z）、俯仰角、偏擺角和滾轉角六個參數，避免了傳統方法需多次裝調帶來的累積誤差。

2. 高精度與高穩定性

系統基于穩頻氦氖激光源，波長穩定性優于±0.05 ppm，線性測量精度可達±0.5 ppm，角度測量分辨率高達0.01角秒，適用于納米級精密檢測需求。

3. 緊湊一體化設計

XD Laser將所有光學元件集成于一個輕巧探頭中（重量通常小于5 kg），無需外部反射鏡或復雜光路調整，便于在狹小空間或現場環境中快速部署。

4. 實時動態測量能力

支持高達50 kHz的數據采集頻率，可對高速運動的機床、機器人或導軌進行動態性能評估，如振動分析、伺服響應測試等。

5. 軟件兼容性強

配套的SpatialAnalyzer®軟件支持與主流CAD系統集成，并提供API有的誤差分離與補償算法，便于用戶進行設備校準與性能優化。